媲美光学光刻，日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率 东京理科大学(TUS)学者日前在纳米压印技术研究上取得突破，实现了紫外硬化纳米压印(UV-NIL)创建 10 纳米以下分辨率形貌的突破。 UV-NIL 技术由于不需要高温高压条件，是一种... 大千世界 2022-08-22 132 #10nm #纳米压印
